熱式質(zhì)量流量計（以下簡稱TMF）是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表，過去我國習(xí)稱量熱式流量計。當(dāng)前主要用于測量氣體。

20世紀(jì)90年代初期，世界范圍TMF銷售金額約占流量儀表的8%，約4.5萬臺。國內(nèi)90年代中期銷售量估計每年1000臺左右。過去流程工業(yè)用儀表主要是熱分布式，近幾年才開發(fā)熱散（或冷卻）效應(yīng)式。

一、原理

熱式流量儀表用得多有兩類，即1）利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計（thenmaI prohIe fIowmeter）曾稱量熱式TMF; 2)利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金氏定律（King’s Iaw）TMF。又由于結(jié)構(gòu)上檢測元件伸入測量管內(nèi)，也稱浸入型（immersion type ）或侵入型（intrusion type）。有些在使用時從管外插入工藝管內(nèi)的儀表稱作插入式（insertion type）。

二、優(yōu)點

熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很??；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。TMF使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標(biāo)定，直接就用空氣標(biāo)定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。

三、缺 點

熱式質(zhì)量流量計響應(yīng)慢，被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會有較大變化而產(chǎn)生誤差。對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當(dāng)熱量。對于熱分布式TMF，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。對脈動流在使用上將受到限制。液體用TMF對于粘性液體在使用上亦受到限制。